远古时期，古人从火中受到启发，开始采用烤、灼、熏等方法治疗一些疾病。
 

春秋战国时期，形成了较为完整的灸法理论体系，长沙马王堆汉墓出图的帛书《足臂十一脉灸经》、《阴阳十一脉灸经》是中国最早的中医灸疗及经脉学医学典籍。

两汉时期，灸法不断发展。东汉初年的《黄帝明堂经》是我国第一部有成熟体系的针灸并重的穴位经典著作，奠定了艾灸选穴治疗的基础。东汉著名医学家张仲景在其著作《伤寒杂病论》中提到灸法治疗的条文有七条，重点论述了灸法的禁忌和某些疾病的灸治方法，他提出了“阳症宜针，阴症宜灸”的观点。

三国两晋南北朝时期，灸法已普遍运用到养生保健中，唐宋时期灸法已发展成一门学科，成为中医九科之一。三国时曹翕所著《曹氏灸方》是我国最早的灸疗专著，集秦汉以来灸疗经验之大成，奠定了艾灸疗法的发展基础。东晋名医葛洪善用灸法治疗急症，并首创隔盐灸、隔蒜灸等隔物灸法。葛洪之妻鲍姑是我国针灸史上第一位女灸师。
 

唐朝时期，灸疗专著大量出现，灸法发展成为一门独立科学，并出现了施行灸法为业的专业灸师。唐代著名医学家孙思邈在其著作《千金要方》中提出“非灸不精，灸足三里”、“若要安，三里常不安”，把艾灸与足三里穴相结合，提出施灸的关键穴位。
宋朝时期，针灸疗法得到较大发展，而灸法也得到不断重视。宋代著名针灸家王执中所撰《针灸资生经》，以灸法为主，记载了多种灸治之法和灸疗经验。南宋窦材在《扁鹊心书》中记载用“睡圣散”进行麻醉施灸，以减轻火灼给病人带来的痛苦，同时利用有刺激性药物贴敷穴位，为后世以药代灸奠定了基础。

明朝时针灸法发展到鼎盛时期，针灸名家辈出，专著相继问世。出现了用艾绒加药物的雷火神针，太已神针等新灸法，同时还出现了桑枝灸、神针火灸、灯火灸、阳燧灸等。李时珍在其专著《本草纲目》中记载：艾以叶入药，性温、味苦、无毒、纯阳之性、通十二经、具回阳、理气血、逐湿寒、止血安胎等功效，亦常用于针灸。
 

清代初期，灸法也有所创新。《神灸经论》是我国历史上又一部灸疗学专著，标志着我国灸疗学发展的新高度。至清末，统治阶级囿于封建礼教，废止针灸，灸法同中医、针刺法一样，陷入有史以来的最低谷。
 

经历过清朝和民国的低谷期，新中国成立后，灸法焕发出新的生机，《中国针灸学》、《新针灸学》等针灸专著相继问世，丰富了灸法内涵；利用现代科学实验手段对艾灸的机制进行了大量医学研究，取得了显著成绩。艾灸在养生保健、防病治病等方面的优势日益突出，显著疗效已经得到整个社会的认可。